KITECH 생산기술 전문지

다층 박막(multi-layer thin films)은 고온 안정성, 내산화성, 전기전도성, 내식성 등 복합적인 기능이 요구되는 산업 분야에서 널리 활용되고 있다. 금속 및 비금속 재료를 수십 나노미터 두께로 교차 적층함으로써, 각 층의 고유 물성을 조합하여 우수한 성능을 구현할 수 있는 구조적 장점을 지닌다. 그러나 이러한 다층 구조는 고온 환경에 노출될 경우 상전이, 층간 확산, 결정립 성장, 계면 재구성과 같은 미세조직 변화가 발생하며, 이는 박막의 구조적 안정성과 기능적 성능 저하로 이어질 수 있다. 이에 따라 열처리에 따른 결정 구조 및 계면 특성을 정량적으로 분석하는 연구가 요구된다. 본 연구에서는 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope, TEM)을 활용하여 열처리 전후의 다층 금속 박막에 대한 미세조직 및 결정 구조 변화를 정밀하게 분석하였다. 고해상도 TEM(HR-TEM), 선택 영역 전자 회절(SAED), 푸리에 변환(FFT) 기법을 적용하여 결정상 및 격자 배열의 변화를 체계적으로 관찰함으로써, 고온 환경에서의 구조적 안정성 평가를 위한 기초자료를 제시하였다.

키워드 투과전자현미경, TEM, 시편준비, 다층박막